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WVG（水蒸氣發(fā)生器）

該產(chǎn)品特別針對ULSI期間制造工程中，品質要求特別嚴格的濕（WET）氧化制程，利用H2和O2等觸媒反應，而研發(fā)出的水蒸氣發(fā)生器。
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